هي إحدى الوسائل التي تستخدم للقضاء على البكتريا والرطوبة والعفن والحشرات وكل العوامل الأخرى التي تؤدي إلى تدهور حالة الوثائق وإصابتها ، وذلك عن طريق تعريضها لبخار مواد كيميائية تقتل البكتيريا والفطريات التي تسبب تلفها أو إهترائها.

وتتم عملية تعريض الوثائق والمخطوطات للتطهير بالتبخير وذلك بوضعها في حجرة مفرغة من الهواء، ثم تطلق عليها غازات سامة أو أبخرة ذات سمية عالية تكفي للقضاء على الحشرات والعفن أو أي شكل من أشكال الحياة الضارة التي قد تكون خطراً على الوثائق أو تتسبب في إتلافها.